Методы исследования оптических свойств прозрачных проводящих оксидов на основе диоксида олова 

Тимур Олегович Зинченко, аспирант, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: Scar0243@gmail.com
Екатерина Анатольевна Печерская, доктор технических наук, доцент, заведующий кафедрой информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: pea1@list.ru
Павел Евгеньевич Голубков, инженер кафедры информационно-измерительной техники и метрологии, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: golpavpnz@yandex.ru
Владимир Сергеевич Александров, студент, Пензенский государственный университет (Россия, г. Пенза, ул. Красная, 40), E-mail: vsalexrus@gmail.com 

Актуальность и цели. Прозрачные проводящие оксиды находят широкое применение как в изделиях функциональной электроники, так и умных стеклах. Актуальность задачи заключается в выявлении особенностей технологического процесса, а также ключевых оптических характеристик, влияющих на параметры проводящего оксида. Цель работы заключается в анализе методов исследования оптических свойств прозрачных проводящих оксидов (методов на основе дисперсионных соотношений; метода Свейнпола; метода Чамбулейрона и др.); анализе экспериментально полученных зависимостей коэффициента поглощения образцов, отличающихся уровнем легирования. Материалы и методы. Показано использование метода поточечной безусловной минимизации для исследования оптических свойств прозрачных проводящих оксидов на основе диоксида олова. Оптические свойства и толщина тонкопленочного покрытия определены методом огибающих. Результаты. Применен метод поточечной безусловной минимизации, который позволяет определить толщину и коэффициент преломления. Для определения коэффициента поглощения использована модель Тауца. Выводы. Легирование прозрачных проводящих покрытий позволяет достичь уменьшения коэффициента оптического поглощения, что сказывается на увеличении фотонной энергии. Поскольку диоксид олова с сурьмой является полупроводником, то уровень Ферми находится недалеко от зоны проводимости, что объясняет увеличение оптической ширины запрещенной зоны. 

Ключевые слова

прозрачный проводящий оксид, оптические свойства, модель Тауца, ширина запрещенной зоны, коэффициент поглощения, коэффициент преломления 

 Скачать статью в формате PDF

Для цитирования:

Зинченко Т. О., Печерская Е. А., Голубков П. Е., Александров В. С. Методы исследования оптических свойств прозрачных проводящих оксидов на основе диоксида олова // Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Технические науки. 2022. № 2. С. 58–68. doi:10.21685/2072-3059-2022-2-5